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■設備功能:晶圓切削液資源化並回收
■設備簡介:
污泥主要為晶圓線切割機切割晶圓,
產生之細粉(主要成份矽),
內含水溶性切削油及切削粉(碳化矽),
目前大部份的處理方式,將其視為廢棄物處理用。
本設備能將此廢棄物資源化產生經濟效應。
國內已有實績廠商,含有成功操作經驗

■晶圓切削液資源化回收經濟效益分析:
| 項次 |
說明 |
數量(kg/day) |
單價(元/kg) |
費用(元/day) |
費用(元/day) |
費用(元/day) |
| 1 |
目前清運費用(油泥不分)(6m3) |
9,000 |
6.5 |
58,500 |
1,755,000 |
21,060,000 |
| 油泥分離泥餅部份(體積比之60%) |
6,600 |
4.0 |
26,400 |
792,000 |
9,504,000 |
| (A)節省清除費用 |
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-11,556,000 |
| 2 |
回收油部份
(體積比之40%)(單價:新油40%) |
2,400 |
19.2 |
46,080 |
1,382,400 |
16,588,800 |
購新油費用
(新油推估單價65元/KG) |
2,400 |
48 |
115,200 |
3,456,000 |
41,472,000 |
| (B)節省費用 |
2,400 |
-28.8 |
-69,120 |
-2,073,600 |
-24,883,200 |
| 3 |
切削液資源化總效益(A+B) |
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-36,439,200 |
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